半导体

借助史陶比尔洁净室机器人解决方案，提升半导体制造性能

电子与半导体行业对精度、速度和低颗粒排放有着极为严苛的要求。为迎合这些高标准，史陶比尔精心打造了一系列专为高度敏感环境设计的洁净室机械臂。我们的机器人能够以超凡的精度、高速且平稳的运动，精准处理晶圆、晶圆载具、光掩模和面板，确保整个半导体生产过程的高效与稳定。

半导体行业对机器人的要求

高度洁净，低颗粒排放

与 ISO2 级和 ISO4 级洁净室相适配，避免机器人产生的细微颗粒对产品造成任何潜在损害。

速度、精度与平稳轨迹

在安全搬运敏感产品的同时，保持高产量和稳定的质量。

长期可靠性

多年维持高性能，所需的维护频率更低。

占地面积小

紧凑设计，适用于狭小空间。

专业产品

专为半导体行业设计

超级洁净室（SCR）6轴机器人，专为洁净室严苛的工作环境量身定制，严格遵循ISO 14644-1 2级或FED209E 1级标准。机械手臂采用全封闭结构，表面覆盖光滑聚氨酯材质，确保清洁度与可靠性达到行业领先水平。SCR机器人凭借出色的灵活性、卓越的有效负载能力以及广泛的工作范围，能够轻松应对晶圆、光掩模、晶圆载具及晶圆盒处理的各类复杂挑战。同时，其紧凑的手臂设计有效节省了设备内部空间，实现了空间利用率的最大化，为半导体生产流程带来更高的效率与便捷性。

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