洁净室工业机器人系列

史陶比尔洁净室机器人符合 ISO 14644-1 标准中的 2 级（超净室版本）和 4 级（洁净室版本）洁净度要求，采用全封闭设计，表面为光滑的聚氨酯材质，具有极高的灵活性。与其他晶圆搬运机器人相比，史陶比尔超净室和洁净室机器人在灵活性、负载能力和工作范围方面表现出色，能够很好地应对晶圆、光掩模、载具及晶圆盒搬运方面的挑战。此外，其结构紧凑，占用空间小，有助于节省专用设备内的宝贵空间。