超洁净室机器人助力半导体行业高质量发展

2026 年 3 月 25 日至 27 日，SEMICON China 2026 将于上海新国际博览中心盛大举行。作为全球领先的工业自动化技术提供商，史陶比尔机器人将亮相 T4馆 441 展位，展示专为半导体行业打造的高洁净度与高精度机器人解决方案。

数十年来，史陶比尔始终引领着洁净室机器人领域。其六轴机器人解决方案通过 ISO Class 2 认证，长期服务于全球主要半导体制造商，凭借洁净性能、可靠性和持续创新能力的持续积累赢得行业广泛信赖。

随着半导体产业的快速发展，先进封装、人工智能、算力升级等新兴应用正不断推动制造工艺演进，也对自动化提出更高要求。客户期待在性能、稳定性和成本效益之间取得新的平衡，而史陶比尔正以技术创新回应这些挑战。

重磅展品：TX2-60L SCR 超洁净室版机器人

本次展会上，史陶比尔将重点展示 TX2-60L SCR 超洁净室版本机器人。该设备面向晶圆取放、设备上下料及前道工艺自动化应用，凭借高洁净度、高精度与高稳定性满足半导体制造的严苛要求。

TX2-60L SCR 达到 ISO 2 级洁净标准，结合史陶比尔独有的密封工艺和表面涂层技术，将颗粒排放降至极低水平。同时，其灵活的安装方式支持底部走线，可进一步减少潜在污染源，适配多种洁净室布局。

在精度方面，机器人采用史陶比尔 JCM 专利减速器模组，实现低振动、平稳轨迹的晶圆搬运，并通过高重复定位精度满足前道关键工序的稳定性需求，有效降低工艺偏差风险。

此外，TX2-60L SCR 具备低总拥有成本（TCO）优势，其结构设计确保长使用寿命与延长的维护周期，同时对耗材依赖低，可帮助客户降低运营成本。凭借出色可靠性，该设备能够支持 24/7 连续生产，为晶圆制造提供持久、高效的自动化能力。

 诚邀相聚，共探半导体自动化新趋势

史陶比尔机器人期待与半导体行业伙伴深入交流，共同探讨洁净室自动化的新趋势，助力半导体产业实现更高效、更可靠的未来生产。

史陶比尔机器人团队